Realisierung von AMR-Sensoren auf umgeformten metallischen Substraten

Autor: Johannes Rittinger

ISBN: 978-3-95900-163-2

Dissertation, Leibniz Universität Hannover, 2017

Herausgeber der Reihe: Lutz Rissing

Band-Nr.: IMPT 03/2017

Umfang: 165 Seiten

Schlagworte: Dünnschichttechnik, Magnetismus, Sensoren

Kurzfassung: In dieser Dissertation wird ein neuentwickelter Fertigungsansatz für die Realisierung anisotroper magnetoresistiver (AMR) Sensoren vorgestellt. Die AMR-Sensoren werden auf einem metallischen Substrat, das nach der dünnfilmtechnischen Fertigung umgeformt wird, realisiert. Durch diese Vorgehensweise soll eine erhöhte Integrationsfähigkeit von Sensoren in technischen Systemen erreicht werden. Der Funktionsnachweis der Sensoren wird beispielhaft anhand eines Messaufbaus zur Positionsmessung eines Magneten im dreidimensionalen Raum erbracht.